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硅片边缘曝光系统及其光强控制方法

作者: 来源: 日期:2017-02-22 16:00:45 人气:50

本发明提出了一种硅片承载盒边缘曝光系统及其光强控制方法,所述系统包括可旋转硅片承载台、曝光光源与光纤、成像镜头、控制计算机以及光强控制装置组成,所述方法通过设置光筛位置后,使用光强控制装置标定曝光光强,通过光源内部光强闭环反馈控制光强的恒定输出,通过检测光筛的位置判断当前是否需要重新标定,通过光强的标定数据控制曝光光源开关和硅片旋转台的旋转时间;应用本发明的系统及方法能够实现光强的阶梯式恒定输出,既充分利于了汞灯光源的强度,又保证了一定时间内的光强恒定输出,提高了硅片边缘曝光工艺的效率和可靠性,此外本发明能够实现多套硅片边缘曝光系统使用一套测光系统,并进一步提出了简化光强控制装置,节省了设备成本。

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